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    真空表是壓力表的一種，工作原理可以分好幾種。按真空計測量原理分類

    （1）靜態(tài)液位真空計：利用U型管兩端液面差來測量壓力。

    （2）彈性元件真空計：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變耐震壓力表形來測量壓力值的大小。

    間接測量真空計壓力為10-1Pa時，作用電接點壓力表在1cm2表面上力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有：

    （1）壓縮式真空計：其原理是在U型管的基礎(chǔ)上真空壓力表再應(yīng)用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加，以便用U型管真空計測量，然后用體積和壓力的關(guān)系計算被測壓力。

    （2）熱傳導真空計：利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。

    （3）熱輻射真空計：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理。

    （4）電離真空計：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如：熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。

    （5）放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般僅能作為定性測量。

    （6）粘滯真空計：利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。

    （7）場致顯微儀：以吸附和解吸時間與壓力關(guān)系計算壓力。

    （8）分壓力真空計：利用質(zhì)譜技術(shù)進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計和射頻質(zhì)譜計等。

    利用彈性元件在壓差作用下產(chǎn)生彈性變形的原理制成的真空測量儀表稱為彈性元件真空表。在結(jié)構(gòu)和外形上與工業(yè)用壓力表類似，一般用于粗真空(102～105Pa)的測量。根據(jù)變形彈性元件分類，這類真空計通常有彈簧管式、膜盒式和膜片式，其結(jié)構(gòu)如圖所示。

    彈性元件真空表的主要特點如下：

    (1)測量結(jié)果是氣體和蒸氣的全壓力，并與氣體種類、成分及其性質(zhì)無關(guān)；

    (2)測量過程中，儀表的吸氣和放氣很小，同時儀表內(nèi)部沒有高溫部件，不會使油蒸氣分解；

    (3)測量精度較高；

    (4)反應(yīng)速度較快；

    (5)結(jié)構(gòu)牢固，選用適當材料能測量腐蝕性氣體；

    (6)是絕對真空計，0.5級以上的表可作為標準表

標簽:                                    真空表