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    在真空技術(shù)中，“烘烤”術(shù)語(yǔ)是指真空系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，將真空系統(tǒng)或系統(tǒng)中某一部件加熱升溫烘烤一段時(shí)間，烘烤階段中系統(tǒng)內(nèi)材料解析的氣體用真空泵抽除，結(jié)束烘烤后再降到室溫，從而縮短抽氣時(shí)間，加快到達(dá)規(guī)定的真空度。此外，高溫烘烤還可以清除部件表面油脂等的污染物。

    無(wú)論是金屬還是玻璃系統(tǒng)，不對(duì)系統(tǒng)內(nèi)材料進(jìn)行除氣，室溫下要獲得10^-6Pa以上的超高真空，需要幾天甚至數(shù)周連續(xù)不斷地抽氣才能到達(dá)。為縮短獲得超高真空的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間，最簡(jiǎn)單有效的方法就是對(duì)容器進(jìn)行“烘烤”除氣，此外還可以采用離子轟擊除氣、光除氣和輻射除氣等手段，降低材料的出氣速率。

    離子轟擊除氣多用于真空規(guī)管、小型真空容器或工件的除氣，系統(tǒng)中的測(cè)量規(guī)管在測(cè)量前也應(yīng)進(jìn)行離子轟擊除氣，用以減少規(guī)管出氣引起的測(cè)量誤差。而光除氣、輻射除氣不僅效果差，還受到各種條件的限制，除一些特殊裝置外，很少應(yīng)用。

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