在大氣狀態(tài)或低真空區(qū)域內，固體與氣體接觸時，在固體表面及內部都會吸氣，在高真空區(qū)域內，被吸收或吸附的氣體又會部分或全部地逐漸釋放出來。在真空技術中，這種吸氣和放氣現象不僅關系到真空的獲得與保持，而且還影響到真空測量結果的準確性和可靠性，因此，了解和掌握這種現象是很重要的。固體吸氣有兩種情況：一種是固體表面吸氣，稱為吸附，另一種是固體內部吸氣，稱為吸收。吸附、吸收的綜合作用統(tǒng)稱為收附。固體放氣即收附的逆過程稱為解吸。
(1)吸附。眾所周知，固體內部分子之間有著比較強的結合力。常溫下，這些分子是按照一定的排列結合在一起的，形成一定形狀的固體結構。在固體內部，每一個分子受到各個方向來的結合力的作用處于平衡狀態(tài)。但是，處于固體表面分子朝外一個方向的力沒有飽和，因此，整個表面布滿著向外引伸的吸力，即剩余力場，其作用距離約為一個分子直徑。所以，當氣體分子與固體表面碰撞時，就進入其剩余力場的作用范圍，使氣體分子在固體表面形成吸附。吸附作用主要與下列因素有關：
①固體表面積越大，表面狀況越粗糙，其吸附能力越強，特別是帶有大量細孔或粉狀的材料具有很高的吸附能力。如活性碳、硅膠、活性氧化鋁、分子篩、五氧化二磷等；
②吸附力隨氣體分子與固體表面距離增加而迅速減小，因此，一般吸附層僅為一單分子層。當溫度低于氣體臨界溫度時，會出現吸附著多層氣體分子組成的氣體薄膜。此外，具有大量微孔的材料在低壓強下也能產生多分子層吸附；
③在溫度不變以及壓強較低時，吸附作用隨壓強的升高而增大，當壓強增至一定值時，固體的吸附性能趨于飽和；
④在壓強不變時，溫度越低吸附量越大；
⑤氣體的沸點越低吸附量越小；
⑥在溫度一定時，低壓強下的吸附時間與壓強成反比。
(2)吸收。氣體分子滲入固體內部形成固溶體或產生化學反應形成新的固態(tài)化合物，這種現象稱為吸收現象。吸收也與氣體壓強和溫度有關，但是，它不像吸附現象那樣有著普遍的規(guī)律性。
(3)解吸。被固體收附的氣體分子，在一定的條件下，會離開固體重新解脫出來，這就是解吸。解吸的難易程度，與氣體的種類和固體材料以及表面狀態(tài)有關。但總的規(guī)律是，在一定的壓強下，隨著溫度增高，解吸作用加快。這是由于每個被吸附的氣體分子要從固體表面上解吸出來，必須獲得一定的能量，來克服它與固體表面分子間的結合力，這種能量稱為解吸熱。因此，提高固體材料的溫度，使吸附的氣體分子獲得的能量大于所需的解吸熱時，氣體分子就被解吸。在較低壓強下加熱，能加速解吸作用。
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