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    盡管微位移機構可以實現很高的位移分辨率，但為了能夠獲得可靠的應用，仍需要位置檢測傳感器。考慮到微位移機構的特點，目前測量微位移的裝置除了前面介紹的光柵測量系統和激光干涉儀測量系統外，還有電阻應變式微位移傳感器和電容式微位移傳感器等。
    電阻應變式微位移傳感器是將待測位移轉換力電阻量變化的裝置，主要由彈性體、電阻應變敏感元件和變換電路等組成。用電阻應變式微位移傳感器組成位置閉環控制系統，可以將傳感器和微位移驅動器集成于一體，而無需附加機構，所以靈敏度高、體積小、成本低、位移分辨率較高，但非線性誤差較大，易受溫度影響。
    電容式微位移傳感器是將待測位移轉換為電容量變化的裝置。它實質上是個具有可變參數的電容器。和其他傳感器不同，電容式位移傳感器輸入能量極低，只需要非常小的輸入力。由于帶電板板之間的靜電引力很小，只有幾個牛頓，因此電容傳感器特別適用于解決輸入能量極低的測量問題，尤其適合于微小的位移測量。其次可以獲得比較大的相對變化量，采用高線性電路，動態范圍可達到100％或更大，這就可以大大提高傳感器的輸出能力。動態響應快。電容傳感器的動片質量輕，系統的固有頻率高，同時電容的介質損耗非常小，因而傳感器能在數兆赫的載頻下工作，因此，特別適合于動態測量的場合。